紫外线和可见光光谱
发布时间:2015/10/30 22:15:17 访问次数:882
作为一个参数，光刻胶灵敏度是通过能够使基本的反应开始所需要的能量总和来衡量的。AD9874ABST它的单位是每平方厘米毫焦耳(n1J／C1112)。21。能够使光刻胶有反应的那些特定的波长，称为光刻胶的光谱响应特性( spectral response characteristics)。图8.16是一种典型的生产用光刻胶的光谱响应特性图。光谱图中的波峰部分是携带高能量的波长区域（见图8. 17）。在光刻蚀工艺过程中所用的不同光源会在8. 11节中介绍。
图8.15 紫外线和可见光光谱（源自：EllioU㈠） 图8.16吸光率曲线
作为一个参数，光刻胶灵敏度是通过能够使基本的反应开始所需要的能量总和来衡量的。AD9874ABST它的单位是每平方厘米毫焦耳(n1J／C1112)。21。能够使光刻胶有反应的那些特定的波长，称为光刻胶的光谱响应特性( spectral response characteristics)。图8.16是一种典型的生产用光刻胶的光谱响应特性图。光谱图中的波峰部分是携带高能量的波长区域（见图8. 17）。在光刻蚀工艺过程中所用的不同光源会在8. 11节中介绍。
图8.15 紫外线和可见光光谱（源自：EllioU㈠） 图8.16吸光率曲线
相关技术资料- 10-30紫外线和可见光光谱
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