分辨率是扫描电子显微镜的主要性能指标,它是指在图像上能分辨出的两个亮点之间的最小问距c影响扫描电镜分辨率的主要囚素一是扫描电子束斑直径, KA2901DTF 一般认为扫捕电镜能分辨的最小间距不可能小于扫描电子束斑直径,它主要取决于电子光学系统,尤其是电子枪的类型和性能、束流大小、末级聚光镜光阑孔径大小及其污染程度等,高分辨率的扫描电子显微镜都采用场发射电子枪,其束斑直径小,束流密度高;另一个囚素是人射电子束在样品中的扩展效应,高能人射电子在样品内经过多次散射后,整体⒈失去F方向性,在固体内部形成漫散射,漫散射作用区的形状取决于原子序数,漫散射作用lx的体积大小取决于入射电子的能量。

   扫描电子强微镜像衬度主要是利用样品表面微区特征(如形貌,原子序数或化学成分, 晶体结构或晶体取向等)的差异,在电子束作用下产生不同强度的二次电子信号,从而导致 成像荧光屏上不同的lx域出现不同的亮度,获得具有一定衬度的图像。表面形貌衬度是利

用对样品表面形貌变化敏感的物理信号作为调制信号得到的一种像衬度。工次电子信号主 要来自样品浅表层,它的强度与原子序数没有明确的关系,但对微区刻面相对于入射电子束 的位向十分敏感。而且二次电子像分辨率高,非常适用于显示形貌衬度。表面尖棱、小粒子、 坑穴边缘等结构囚二次电子的产额高.在扫描像上这些位置亮度高,CD SEM主要利用形 貌衬度,利用所观察目标的表面形状的起伏产生衬度,冉配以自动测量的软件,实现快速、高 分辨率的CD测量。在集成电路生产过程中,沟槽的宽度、通孔的直径、栅极的宽度、互连线 的宽度等都可以用CD sEM进行高精度的测量。要得到高的分辨率,人射束在样品内部的扩展要小,探头所收集到的工次电子所来自的面积要小。当以二次电子为调制信号时,二次电子主要来自两个方面,即由人射电子直接激发的二次电子(成像信号)和由背散射电子、X射线光子射出表面过程中间接激发的二次电子(本底噪音)。为减少本底噪音,通常采用较低的入射能量,减少背散射电子和X射线光子的激发所产生的二次电子。理想情况下,二次电子成像的分辨率约等于束斑直径。背散射电子的能量比较大,来自于样品内较大的区域,通常背散射电子成像的分辨率要比二次电子低。