电子枪发射电子,经过聚焦后轰击在样品表面,激发出二次电子。二次电子的信号强度随样品表面特征而变,扫描系统在控制电子束扫描样品表面的同时,控制显示器的阴极射线管电子束在荧光屏上作同步扫描。KA278RA05CTU二次电子的信号经检测放大后作为调制信号,同步调制阴极射线管的电子束强度,在荧光屏上获得能反映样品表面特征的扫描图像。

   扫描电子显微镜由电子光学系统,扫描系统,信号检测放大系统,图像显示和记录系统,电源系统和真空系统等部分组成。

  电子光学系统:由电子枪,电磁聚光镜,光阑.样品室等部件组成。它的功能是获得扫描电子束,作为使样品产生各种物理信号的激发源c为了获得较高的信号强度和扫描像(尤其是工次电子像)分辨率,扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。场发射电子枪可提供最小的电子源直径(约5nm)和最高的亮度(lO8~l09A/cm2・sr),是高分辨率扫描电镜的理想电子源。用二次电子成像时,扫描电镜所能达到的分辨率极限就是样品表面束斑的直径。电磁聚光镜把电子枪发射的电子束进一步缩小,可以实现更高的分辨率,已经可以达到1A。

   图像屁示和记录系统:把信号监测系统输出的调制信号.转换为在阴极射线管荧 光屏上显示的样品表面某种特征的扫描图像。目前电子计算机在此领域的应用非常深人广 泛,扫描图像保存在电脑磁盘中.还可以利用各种专业软件对图像进行所需的分析处理。

    真空系统:其作用是建立起确保电子光学系统正常△作、防止样品污染所必需的 真空度,安装了冷场发射电子枪的扫描电镜其灯丝部分已达到10′Pa的真空度。

   电源系统:由稳压、稳流及相应的安全保护电路组成,提供扫描电镜各部分所需要 的电源。

   扫描系统:其作用是提供入射电子束在样品表面以及阴极射线管电子束在荧光屏的同步扫描信号。改变人射电子束在样品表面的扫描振幅,以获得所需放大倍数的扫描像。它由扫描信号发生器、放大控制器等电子学线路和相应的扫描线圈组成。

   信号检测放大系统:其作用是检测样品在人射电子作用下产△的物理信号,然后经视频放大,作为显像系统的调制信号。通常用闪烁计数器来检测二次点子、背散射电子等信号,它由闪烁体、光导管、光电倍增器等组成。当信号电子撞击并进人闪烁体时引起电离,当离子与白由电子复合时,产生可见光信号沿光导管送到光电倍增器进行放大,输出电信号经视频放大器放大后作为调制信号。这种监测系统在很宽的信号范围内具有正比于原始信号的输出,具有很宽的频带和高的增益,而昆噪音很小。