谈到掩模板,就要谈到掩模板制造的核心没备    图形发生器(P扯tcm Generator)。目前,S29GL032M90FFIS10掩模板制造设各供应商主要有二家:Micronk、Jeol和NuFlare,制作工艺分为激光和电子束两种图形描绘方式,两种方式各有利弊。采用激光描绘图形的优势是速度快、效率高,但精度不如电子束扫描方式;而采用电子束描绘图形,虽然精度高,但描绘速度慢、生产效率低。由于两种方式的互补性,掩模板制造商会分别购买两种设各。当制各线宽要求很高的电路图形时使用电子束扫描,对于线宽要求不是很高的电路图形则使用激光扫描。两种设备的交替使用既满足了精度要求,也大大提高了速度,同时也大大降低了制造商的投资成本。

   随着技术的发展,这种状况正在改变。三家掩模板制造设各供应商都对各自的弱点有了技术上的改进。