通常反射镜设置为移动的光学元件
发布时间:2014/12/9 20:47:21 访问次数:443
通常反射镜设置为移动的光学元件,而干涉A3P030-VQG100镜则作为固定的元件(见图8-9)这些角色可以调换,但会缩小测量的最大量程,从40m (133ft)缩小为15m (49ft)。因此在长轴上,线性干涉镜通常保持固定,而移动其他反射镜以执行测量。在较短的轴上,如果方便,这些角色可以互相交换。
在应用上首先是对光
对光的目的是为了让检测的光线能准确返回激光干涉仪上,让激光干涉仪得到最强的反馈信息,以便计算实际的行程数值。
死程误差是在线性测量过程中与环境因素改变有关的误差,这时已采用EC10自动补偿功能。在正常状况下,死程误差并不大,而且只会发生在定标后以及测量过程中的环境改变。
通常反射镜设置为移动的光学元件,而干涉A3P030-VQG100镜则作为固定的元件(见图8-9)这些角色可以调换,但会缩小测量的最大量程,从40m (133ft)缩小为15m (49ft)。因此在长轴上,线性干涉镜通常保持固定,而移动其他反射镜以执行测量。在较短的轴上,如果方便,这些角色可以互相交换。
在应用上首先是对光
对光的目的是为了让检测的光线能准确返回激光干涉仪上,让激光干涉仪得到最强的反馈信息,以便计算实际的行程数值。
死程误差是在线性测量过程中与环境因素改变有关的误差,这时已采用EC10自动补偿功能。在正常状况下,死程误差并不大,而且只会发生在定标后以及测量过程中的环境改变。