要设置线性测量，将一个线性反射镜连接到具有两个紧螺纹的分光镜上。 A3966SLBTR这个组合要件被称为“线性干涉镜”，可以作为激光束的参考路径。线性干涉镜位于ML10激光器和线性反射镜之间的光束路径，如图8-7所示。分光镜管上标有两个箭头以显示其方位。箭头应指向两个反射镜。

   ML10激光器的光束会射入线性干涉镜，再分为两道光束。一道光束（称为参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道光束（测量光束）则通过分光镜射人第二个反射镜。这两道光束会再反射回分光镜，重新会聚之后返回激光头，其中会有一个探测器监控两道光束间的干涉。

   在线性测量时，其中一个光学元件保持不变，而另一个则沿着线性轴移动。定位测量是通过监控测量及参考光束间光路差异的变化来执行的（注意，两个光学元件间的差分测量与ML10激光器的位置无关）。此种测量可与待测机床的标尺读数比较，获得机床精度的任何误差。