直线误差  路径L：的激光A40MX02-FPL68测量死程误差与两个光学元件间的距离有关，此时系统定标为L，（详细请参考激光干涉仪说明书）。若干涉镜及反射铳之间没有动作，且激光束四周的环境状况有所改变，整个路径(L，+L2)的波长（空气中）都会改变，但激光测

量系统只会对L2距离进行补偿。因此，死程测量误差会由于光束路径L，没有获得补偿而产生。

   余弦误差  激光束路径与运动轴之间存在的任何未准直都会造成测得的距离和实际的运动距离之间有差异，如图8-10所示。此未准直误差通常被称为余弦误差。此误差的大小与激光束和运动轴间的未准直角度有关，当激光测量系统与运动轴未准直时，余弦误差会使得测量的距离比实际距离要短。随着角度未准直的增加，误差也跟着显著增加，要使余弦误差达到最小，测量激光束必须准直，并与运动轴平行。在长度为Im的轴上，使用提供的

准直步骤很容易达到这个目的。但在较短的轴上就变得相当困难，需用下面方法来最优化准直并使余弦误差最小：

   ·最大化激光读数；

   ·自动反射方式；

   ·设置直线度测量过程中的斜率消除最大化激光测量读数，若激光测量出现余弦误差，则激光读数将会小于原本应有的数值。因此，通过仔细调整激光头的俯仰及偏转，直到取得最大的激光读数，就能消除短轴上的余弦误差。

   ①沿着运动轴准直光束。

   ②移动轴以使镜组靠近并定标激光读数。

   ③移动轴，使镜组彼此离得越远越好。

   ④仔细调整激光头的俯仰和偏转控制，取得最大的激光测量读数。