①安装激光干涉仪；

   ②对光；

   ③生成检测程序；

   ④开始检测方向间隙；

   ⑤数据分析；

   ⑥补正方向间隙；

   ⑦开始检测螺距误差；

   ⑧数据分析；

   ⑨补正丝杠螺距误差。

   本系统有EC10环境补偿装置可以补偿激光器，A40MX02-PL44I 在光束波长在气温、气压及相对湿度影响之下大多数机床会随着温度变化膨胀或收缩，可能导致校准发生误差，如图8-11所示为补偿所用传感器。为了避免校准误差，线性测量软件纳入一种称为热啜胀补偿或“归一化”的数学修正，应用在线性激光读数上。软件使用膨胀系数将测量加以归一（膨胀系数需手动输入），并使用EC10来测量平均机床温度，修正目的是要评估在20℃的温度下执行校准时应得的激光器校准结果。

   在重复测量后出现两个数据之间的差别，经过补芷就可以得到较好的效果，如检测SIEMENS 802D螺距误差有关的参数，在反向间隙没有补差之前的数据为26/1m，补偿后为OFLm。

   螺距误差在补偿之前误差范围在5～- 20_um之间，补偿后在3～-8pm之间。