第一个栅极成份与厚度的量产产品晶片监测高应力刻线
发布时间:2022/6/23 18:41:12 访问次数:73
两者的特点也不相同,串联的特点是电流只有一条通路;而并联的特点是电路有若干条通路,在并联电路中电压处处相等。最后是开关对两种线路的作用也各不相同,串联开关控制整个电路,并联中的干路开关控制整个电器的开关,支路开关控制所在线路的电器。
要如何判断电路的连接方式是串联还是并联?需要我们找出两个链接方式中的基本特征以及不同之处,这样可以即快速又准确的辨别,第一种方法就是用电器连接法观察其连接方式,分析电路中用电器的连接方法.逐个顺次连接的是申联;并列在电路两点之问的是并联。
150nm BBSE技术,在单一工具上实现了业界第一个栅极成份与厚度的量产产品晶片监测。
由于光谱精确度、光学灵敏度及稳定性获得提高,因此BBSE技术与先前的技术相比,可提供更佳的厚度精确性达2倍,及更佳的折射率匹配达4倍。该系统在产品片上可量测的最小尺寸缩小了 20%,籍此可测量更小线宽产品。
与上一代工具相比,新的StressMapper技术能够以更高的灵敏度及产能实现后段制程(BEOL)中对关键薄膜上整个晶片应力的一致性进行监测,例如超低介电常数和前段制程(FEOL)中的高应力刻线。
差Δy、频差Δ/和相位差Δφ。若上述参数符合要求,检测电路输出信号去控制GCB吸合,使发电机投人并联,在并联供电系统中,BTB平时处于闭合状态。
实际上Δy、Δ/和Δφ等于零是不可能的。飞机上一般要求Δ/≤(0.5%~1.0%)底(底为额定频率),Δσ≤(5%~10%)σN(σN为额定电压),Δφ≤90°时,就可以投人并联。并联供电系统的简化示意图。
并联供电系统的简化示意图,并联后有功负载和无功负载的自动均衡,并联后有功负载和无功负载必须均衡,否则会出现有的发电机过载、有的发电机欠载的情况,严重时将使整个电源系统无法正常工作。
两者的特点也不相同,串联的特点是电流只有一条通路;而并联的特点是电路有若干条通路,在并联电路中电压处处相等。最后是开关对两种线路的作用也各不相同,串联开关控制整个电路,并联中的干路开关控制整个电器的开关,支路开关控制所在线路的电器。
要如何判断电路的连接方式是串联还是并联?需要我们找出两个链接方式中的基本特征以及不同之处,这样可以即快速又准确的辨别,第一种方法就是用电器连接法观察其连接方式,分析电路中用电器的连接方法.逐个顺次连接的是申联;并列在电路两点之问的是并联。
150nm BBSE技术,在单一工具上实现了业界第一个栅极成份与厚度的量产产品晶片监测。
由于光谱精确度、光学灵敏度及稳定性获得提高,因此BBSE技术与先前的技术相比,可提供更佳的厚度精确性达2倍,及更佳的折射率匹配达4倍。该系统在产品片上可量测的最小尺寸缩小了 20%,籍此可测量更小线宽产品。
与上一代工具相比,新的StressMapper技术能够以更高的灵敏度及产能实现后段制程(BEOL)中对关键薄膜上整个晶片应力的一致性进行监测,例如超低介电常数和前段制程(FEOL)中的高应力刻线。
差Δy、频差Δ/和相位差Δφ。若上述参数符合要求,检测电路输出信号去控制GCB吸合,使发电机投人并联,在并联供电系统中,BTB平时处于闭合状态。
实际上Δy、Δ/和Δφ等于零是不可能的。飞机上一般要求Δ/≤(0.5%~1.0%)底(底为额定频率),Δσ≤(5%~10%)σN(σN为额定电压),Δφ≤90°时,就可以投人并联。并联供电系统的简化示意图。
并联供电系统的简化示意图,并联后有功负载和无功负载的自动均衡,并联后有功负载和无功负载必须均衡,否则会出现有的发电机过载、有的发电机欠载的情况,严重时将使整个电源系统无法正常工作。