热稳定性测试

   半导体材料的热稳定性表征方法有两种:表面电阻法和电阻率法。表面电阻法是对热处理前后的样品通过对特定图形测量其表面电阻的相对变化来表征,而电阻率法是通过对特定取样样品用范德堡法等来测量其电阻率的相对变化来表征。H5PS5162FFR-20C

   热处理工艺要求加热炉和样品洁净,严防沾污,且做热处理的样品在热处理过程中表面需要保护,否则将对材料的性质造成极大的影响。加热为开管式,炉管为石英管,恒温区大于1Ocm,控制精度优于±5℃,工作时在开管中通以高纯氮气。将样品放于石英舟上,推入石英管恒温区,用保护气体吹30分钟后开启加热炉,应尽量缩短升温时间。当达到预定热处理温度时,开始计时,通常为850℃,时间为30分钟。热处理完成后,样品在气体保护下自然冷却至室温后,取出样品。