用黏性铝箔条制成遮板,以防护特殊区域不被刻蚀。

    将器件安装在铜或铝板上,将其放入铝制的称量皿中,置于温度约90℃的加热盘上,D10040250GTH等待几分钟(视器件的热容量不同而有差异)以使包封层的温度上升到接近㈨℃。

   将少量的发烟硝酸倒入烧杯,用点滴器滴几滴(视器件的尺寸不同而有差异)发烟硝酸到器件上。

   清洗:用冷硝酸漂洗几分钟,再用丙酮喷雾清洗,然后用异丙醇喷雾清洗或用甲醇进行超声清洗。然后用干燥的空气吹干。

   重复步骤iii~v,直至暴露出芯片。

   如果必要,再在10∶l的0a与CF4的混合气体中进行等离子清洗(50W,30~60∏Ⅱn)。

   手工湿法刻蚀工作应注意:

    多数塑封材料可使用发烟硝酸,对酐类环氧树脂可使用硫酸作溶媒。

   采用发烟硝酸时应注意工作温度。室温下发烟硝酸对塑料几乎不起作用。与酸反应时,应保证器件温度较高,使暴露时间可以较短,以利于提高刻蚀质量。当温度升高到接近10O℃时,只需几分钟,便可完成开封工作。更高的温度是不必要的,因为其仅会使硝酸分解,挥发出No2并吸收水分而变为黄色稀硝酸。稀(黄)硝酸能与器件中的金属反应,这是应当防止的。

   采用硫酸时,硫酸必须加热至约150℃。

   漂洗时应使用去离子水。

   本操作应充分注意安全。