本章参考文献[19]通过引入负的库所和标记(Ncg龃Ⅶ Placcs and TOkcm)的概念,采 R114239000W用扩展后的TEG模型。最优调度问题可以表述为混合整数规划模型,并且获得基于混合整数规划模型系统可调度的充分必要条件。如果系统可调度,则可求得最优调度方案。这个方法的问题在于,为建立混合整数规划模型,必须找出Pctri网中所有的回路。理论上这种网络中回路的数量与网络规模成指数规律增长。同时,混合整数规划模型很难求解,计算复杂度非常高。

   无论是本章参考文献[18]还是本章参考文献[19],所建的模型都是针对具体的晶圆流模式建立的。如果晶圆流模式改变,就必须建立新的模型,这使得这些方法在应用上受到限制。对双臂集束型装各来说,具有等待的交换策略能够在一定度上弥补负荷的不均衡,

但对单臂集束型装备来说,具有等待的交换策略无法实现。本章参考文献[⒛]采用事件图和网络模型的方法对多集束型进行优化搜索,找到可行的加工顺序。这些模型的计算复杂性与系统的规模呈指数增长,存在计算困难的问题。另外,这些模型可重用性差,一旦晶圆流模式改变,要重新建模。