事件图是一种图形化描述离散事件仿真模型的方法。它是用图形化方式建立事件列表逻辑的方法。R114239000事件图由事件和事件之间的关系组成,通过用节点来表示事件,有向弧表示事件之间的关系,适合于作为确定系统的建模方法。事件图作为一种Pctri网,研究对象是确定的系统。

   本章参考文献[18]首次提出求解晶圆滞留时间约束条件下双臂集束型装备调度方案的系统化方法。晶圆滞留时间约束是否能够得到满足,在很大程度上依赖于各个加工步骤间负荷的均衡程度。为提高系统负荷的均衡度,提出了所谓的具有等待的交换策略(All-wait-swap)。按照该交换策略,在交换操作过程中,当双臂机械手的一个手臂完成晶圆的卸载后,不马上将另一个手臂的晶圆装入该加工模块,而是等待一段时间后再装入。

   该文献采用赋时事件图(△mcd Event Graph,TEG)作为建模工具。基于这一模型,最优的周期调度问题转换为求解一个线性规划问题,且通过该线性规划模型可以获得系统可调度的条件。如果系统是可调度的,求解线性规划模型即可找到最优调度方案。但该方法所获得的可调度条件只是充分的,而非必要的。图⒉6是双臂集束型装备的赋时事件图,晶圆流模式(2,D表示加工模块1(PMl)和加工模块2(PM2)用于加工步骤1,加工模块3(PM3)用于加工步骤2。