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集束型晶圆制造装备的建膜方法

发布时间:2017/11/27 21:29:02 访问次数:323

    如前所述,集束型装备所具有的若干复杂性使得其建模非常困难。然而,由R05107ANP-011于集束型装备是以事件为驱动的、内部存在大量同步与异步操作,以及资源争夺与共享的复杂生产系统,故可被描述为一个复杂的离散事件动态系统。从离散事件动态系统理论的角度出发,制造系统可以用状态、事件(生产活动)及它们之间的关系来描述。为了设计有效的集束型装备调度方法,首先需要建立合理的集束型装备模型。模型是对系统的抽象描述和刻画,建模是对系统进行分析和决策的重要手段和前提。具体的说,可以利用建立的集束型装备模型,对其采取一定的分析方法,揭示集束型装备的内在运行变化过程和机理,确定系统运行中各种因素对集束型装备运行性能的影响,进而为设计有效的集束型装备调度方法奠定基础。同时,借助集束型装各模型,可以对集束型装备调度方法的性能进行快速、有效的评价,以验证调度方法的有效性。

   目前,用于制造系统的离散事件动态系统建模方法主要有基于马尔科夫模型、数学规划模型、时序图模型、Pe“i网模型及仿真模型等。

    如前所述,集束型装备所具有的若干复杂性使得其建模非常困难。然而,由R05107ANP-011于集束型装备是以事件为驱动的、内部存在大量同步与异步操作,以及资源争夺与共享的复杂生产系统,故可被描述为一个复杂的离散事件动态系统。从离散事件动态系统理论的角度出发,制造系统可以用状态、事件(生产活动)及它们之间的关系来描述。为了设计有效的集束型装备调度方法,首先需要建立合理的集束型装备模型。模型是对系统的抽象描述和刻画,建模是对系统进行分析和决策的重要手段和前提。具体的说,可以利用建立的集束型装备模型,对其采取一定的分析方法,揭示集束型装备的内在运行变化过程和机理,确定系统运行中各种因素对集束型装备运行性能的影响,进而为设计有效的集束型装备调度方法奠定基础。同时,借助集束型装各模型,可以对集束型装备调度方法的性能进行快速、有效的评价,以验证调度方法的有效性。

   目前,用于制造系统的离散事件动态系统建模方法主要有基于马尔科夫模型、数学规划模型、时序图模型、Pe“i网模型及仿真模型等。

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