改变波长或人射角度,会得到另外一组厚度值,而两组测量所得的厚度可能值中只有一个是相同的,SC4211STRT这就是正确的厚度。对于折射率相近的材料,在接近周期厚度时难以区分其迹线。通过测董不同人射角下的△和￠渖邕更准确地计算出反射率。

   通常椭偏仪测量作为波κ和人射角函数ρ的值(经常以矽和△或相关的量表示)。一次测量完成以后,所得的数据用来分析得到光学常数、膜层厚度以及其他感兴趣的参数值。如图16.7所示,分析的过程包含很多步骤。 可以用一个模型来描述测量的样品,这个模型包含F每个材料的多个平面,包括基底。在测量的光谱范围内,用厚度和光学常数(″和乃)来描述每一个层,对未知的参数先做一个初始假定。最简单的模型是…个均匀的大块固体,表面没有粗糙和氧化。这种情况下.折射率的复函数直接表示但实际应用中大多数材料都是粗糙或有氧化的表面,lxl此L述函数式常常不能应用。图16.7中的下一步,利用模型来生成Gen。I)ata,由模型确定的参数生成Psi和Detla数据,并与测蚩得到的数据进行比较,不断修止模型中的参数使得tr成的数据与测量得到的数据尽晕一致。即使在一个大的基底上只有一层薄膜,理沦上对这个模型的代数方程描述也是非常复杂的。因此通常不能对光学常数、厚度等给出类似上面方程一样的数学描述,这样的问题,通常被称作反演问题。

   最通常的解决椭偏仪反演问题的方法就是在凵归分析中,应用I'evenberg_Marquard1算法c利用比较方程,将实验所得到的数据和模型/t成的数据比较。通常.定义均方误差(Mean Square Error,MsE)为在有些情况下,最小的MsE可能产生非物理或非唯一的结果e但是加人符合物理定律的限制或判断后,还是可以得到很好的结果。网归分析已经在椭偏仪分析中收到成功的应用,结果是可信的、符合物理定律的、精确可靠.