偏振光椭圆率测量仪所需的组件包括:①把非偏振光转化为线性偏振光的光学系统; SC45141②把线性偏振光转化为椭圆偏振光的光学系统;③样品反射;①测董反射光偏振特性的光学系统;⑤测量光强度的探测器;⑥根据假设模型计算结果的计算机,如图16.8所示, 汇聚束技术:汇聚束技术实现一个锥形光束,人射角最小到40°,最大到7O°。探测器有多个像素可以同时处理测量角度范围内的光线。从最大或最小角度反射来的光靠近束斑的边缘,所得的结果可能无意义,因此可以裁减掉相应的像素。而且汇聚束技术的最小束斑可以到5×10um9可用于测量非常小的图形。

   在光谱椭偏仪的测量巾使用不同的硬件配置,但每种配置都必须能产生已知偏振态的光束,测量由被测样品反射后光的偏振态,这要求仪器能够量化偏振态的变化量ρ。 有些仪器测童ρ是通过旋转确定初始偏振光状态的偏振片(称为起偏器),冉利用第二个固定位置的偏振片(称为检偏器)来测得输出光束的偏振态。另外一些仪器是同定起偏器和检偏器,而在中问部分调制偏振光的状态,如利用声光晶体等,最终得到输出光束的偏振态。这些不同配置 的最终结果都是测量作为波长和人射角复函数ρ,如图16.9所示。