划痕(scratches)
发布时间:2017/11/11 18:33:34 访问次数:574
划痕类缺陷主要可分为两种,一种是 QL2007-OPQ208C较大的划痕(scratches),它主要是由抛光垫上的各种杂质颗粒造成的,如抛光垫修正器上掉下的金刚石粒,晶片边缘的剥离物,还有抛光后产生的副产品等。另一种是较小的划痕(micro scratches),它是由研磨液中较大的研磨颗粒(abrasives)造成的,它的宽度与研磨颗粒的尺寸接近(0,05≈0,5um)。由于划痕破坏了铜表面的钝化层,有时在划痕处会长出氧化铜。随着金属连线尺寸的降低,对划痕类缺陷 的要求也越来越高,采用更小、更少、颗粒大小更均匀的研磨颗粒,也是研磨液发展的一个方向。
划痕类缺陷主要可分为两种,一种是 QL2007-OPQ208C较大的划痕(scratches),它主要是由抛光垫上的各种杂质颗粒造成的,如抛光垫修正器上掉下的金刚石粒,晶片边缘的剥离物,还有抛光后产生的副产品等。另一种是较小的划痕(micro scratches),它是由研磨液中较大的研磨颗粒(abrasives)造成的,它的宽度与研磨颗粒的尺寸接近(0,05≈0,5um)。由于划痕破坏了铜表面的钝化层,有时在划痕处会长出氧化铜。随着金属连线尺寸的降低,对划痕类缺陷 的要求也越来越高,采用更小、更少、颗粒大小更均匀的研磨颗粒,也是研磨液发展的一个方向。
相关技术资料- 11-11划痕(scratches)
公网安备44030402000607
