酚醛树脂-二氮萘醌光刻胶中的二氮萘醌的光化学反应结构
发布时间:2017/10/30 21:27:14 访问次数:901
光刻胶一般由以下几大组成成分构成:主聚合物主干(backbone polymer)、光敏感UC2813D-3成分(Photoactive Compound,PAC)、刻蚀阻挡基团(etching resistant gr°up)、保护基团(protectiYlg group)、溶剂(solvent)等。i线光刻胶主要成分是酚醛树脂(novolak)和二氮萘醌(diazonaphtl△oquinone,DNQ)的混合物。二氮萘醌的作用是阻止酚醛树脂溶解于碱性的显影液,二氮萘醌受到曝光之后会变成一种羧酸←C(X)H),叫indenecarb°xylic acid,这种羧酸的存在会加快酚醛树脂在碱性显影液中的溶解。二氮萘醌的光化学反应结构式如图7,80所示。
图7.80 酚醛树脂-二氮萘醌光刻胶中的二氮萘醌的光化学反应结构式示意图
光刻胶一般由以下几大组成成分构成:主聚合物主干(backbone polymer)、光敏感UC2813D-3成分(Photoactive Compound,PAC)、刻蚀阻挡基团(etching resistant gr°up)、保护基团(protectiYlg group)、溶剂(solvent)等。i线光刻胶主要成分是酚醛树脂(novolak)和二氮萘醌(diazonaphtl△oquinone,DNQ)的混合物。二氮萘醌的作用是阻止酚醛树脂溶解于碱性的显影液,二氮萘醌受到曝光之后会变成一种羧酸←C(X)H),叫indenecarb°xylic acid,这种羧酸的存在会加快酚醛树脂在碱性显影液中的溶解。二氮萘醌的光化学反应结构式如图7,80所示。
图7.80 酚醛树脂-二氮萘醌光刻胶中的二氮萘醌的光化学反应结构式示意图
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