TCC叫做传输交叉系数(transmission crossc。cfficient),图7.65为其几何示意图。 V68ZA10以上算式表达的物理含义是,对于-个部分相干光照明的系统,可以通过将面光源上每一点的照明成像看成是相干照明成像,然后再把面光源上的每一点所成像的光强相加起来,这叉叫做相干系统叠加(Sum of Coherent Systems,⒏)CS)。T(rC是对光源在光瞳上分布的二重积分,式(758)显示的另外4重积分是由于对一个二维傅里叶积分(两重积分)的平方。这种算法的好处在于可以对某一种照明条件先行计算TCC,然后再对掩膜版函数进行4重积分,提高了计算速度,这适用于对大量图形进行计算,比如对芯片级的图形进行快速计算。

   对于I艺研发等对运算速度不高的计算,我们可以采用先计算相干照明下的结果,取得光强分布函数后将不同的角度照射光的贡献累加起来的方法。不过,以上的含有传输交叉系数表达式是针对数值孔径不太大的标量场的。在目前的大数值孔径(>0.65)甚至浸没式光刻技术大量使用的情况下,这种标量的计算越来越不能够满足T业生产的要求。阿兰・罗森布鲁士在~90O4年提出了沿用以上相干系统叠加数学形式,并且加上矢量光场和偏振的算法,限于篇幅,这里就不再讨论,具体见参考文献。