如果我们在光瞳位置看照明光的投影,如图7.63(a)、图7.63(b)、图7.63(c)所示,可以看到, V6340RT092对于σ=1非相干光照明,照明光充满了整个光瞳。对于相干光σ=0,照明光只占据了光瞳中央很小的一个区域,理论上无限小的点。对于部分相干光,照明光占据了光瞳的一部分。

   根据成像理论,至少需要两束光才能够完成成像的使命。图7.64显示,如果空间频率处在NA/^与2NA∧之间,如图7.62所示,相干光的调制传递函数为0,从图7.64上理解,光瞳当中无法收人+1级或者―1级衍射光,因而无法形成干涉条纹,也就无法成像。但是,当我们使用部分相干光时发现,当σ值大到一定程度时,在照明区域的边缘开始∵出以

下情况:光瞳内同时可以找到0级和1级或者-1级衍射光。也就是说,硅片上开始出现图像。当σ=1,我们可以看到,光瞳内同时可以找到0级和1级或者-1级射光的区域达到极大。其实,这些光瞳边缘的照明光其实就是斜入射光。斜入射光的存在延伸了系统分辨率,从相干光照明下的NA似延伸到了原来的两倍:2NA似。