光刻胶的灵敏度越高
发布时间:2017/10/26 21:27:30 访问次数:1585
光刻胶的灵敏度越高,通常伴随着较短的光酸扩散长度(空间像的保真程度越高,分辨率越高),SC101332CVR400B因为这种光刻胶一般不太依赖曝光后烘焙,因而可能导致一定程度的图形粗糙程度。不过,如果同时提高光酸产生剂浓度,这种情况可以得到改善。光刻像的对比度的提高可以减少图形粗糙程度,如图7.37所示。
接触孔(contact)和通孔(vh)的圆度同图形粗糙程度类似。它也跟光酸扩散、光酸的浓度,以及空间像对比度、和光刻胶显影对比度相关。这里就不作一一讨论。
光刻胶的灵敏度越高,通常伴随着较短的光酸扩散长度(空间像的保真程度越高,分辨率越高),SC101332CVR400B因为这种光刻胶一般不太依赖曝光后烘焙,因而可能导致一定程度的图形粗糙程度。不过,如果同时提高光酸产生剂浓度,这种情况可以得到改善。光刻像的对比度的提高可以减少图形粗糙程度,如图7.37所示。
接触孔(contact)和通孔(vh)的圆度同图形粗糙程度类似。它也跟光酸扩散、光酸的浓度,以及空间像对比度、和光刻胶显影对比度相关。这里就不作一一讨论。
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相关技术资料- 10-26光刻胶的灵敏度越高
- 5-10使用恒流负载的射极跟随器
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