前面讲到的成像原理都没有考虑到人射和衍射光的偏振态。其实,它们的偏振态对像的对比度在大数值孔径的逐渐变大有着显著影响。V6F32F304对于电场方向垂直与人射光同掩膜版表面法线成的人射平面的光,又叫做横电波(Tmnsverse E1ectric,TE),电场方向不会随人射光的入射角度变化而变化,如图7.68所示。但是对于电场方向平行于入射平面的光,又叫做横磁波(transverse magnetic,TM),对像的对比度的影响就变得无法忽略了,如图7.69所示。这主要是囚为电场的方向不再一致,叠加电场的强度的最大值比两束光矢量同方向时的最大值要小,而叠加电场的强度的最小值比两束光矢量同方向时的最小值要大,造成像对比度的下降。所以在仿真计算中,需要将矢量相加考虑进去。为了避免对比度的损失,我们在65nm以下的节点开始在光刻机丨1使用偏振片。常用的偏振方式如图7.70所示。图中旋转的X或者Y主要是根据当今动态随机存储器(Dynamic Random Access Memory,DRAM)尽量缩小单元面积的需要(把存储单元作成倾斜的)而设计的。