(1)阳极氧化剥层的微分电导法

   一种传统方法,也是被M51-A230XG认为精度最高的方法。是在样品上逐次阳极氧化一剥层(用HF腐蚀掉阳极氧化层)一测量薄层电阻,直到pn结边界为止(对应于薄层电阻突然由大变小),得到1/Rs饣曲线,进而求出电阻率分布,再由电阻率与杂质浓度曲线查得杂质浓度分布。

   (2)扩展电阻法

   在一个磨角样品上,用两探针沿斜面以一定步进距离,逐次测出各点的扩展电阻R,利用可以求出电阻率。由于扩展电阻法具有微米级的空间分辨率,又采用计算机进行数据校正,能够自动地把扩展电阻-深度曲线转换成电阻率一深度曲线,进而转换成杂质浓度-深度曲线,所以扩展电阻法已成为工艺检测的标准方法,广泛用于测定外延层、扩散层的杂质和离子注人层的载流子纵向和横向分布以及外延层的自掺杂分布。