在3.2.2节图34中的气相外延设各是典型的卧式(水平式)气相外延设备。外延设LD2981CU33TR各种类繁多,除了有卧式还有立式、筒式,常压、低压,热壁、冷壁等多种类型之分。图312所示是立式和筒式外延装置。气相外延设备一般由5部分组成。

   (1)反应器。这是进行外延生长的容器装置,目前反应器有多种类型,如水平式、立式和筒式等。反应器采用耐高温、清洁无污染的材料构成,如石英。反应器内有放置衬底的基座,冷壁式反应器的

基座多为石墨材质的易感器,上面覆有石英。在图⒊12所示的立式和筒式反应器中,考虑到外延气体在衬底表面的均匀分布,基座采用的支撑装置多是可控旋转机构。低压反应器必须为耐压、气密装

置。随着科技的进步,新型反应器中还安装有外延层实时厚度检测、表面监测等装置。

   (2)气体系统。这是反应剂、掺杂剂等外延气体存储、输运及其控制装置。包含源气瓶、管路、阀门、流量计等。气态源是直接将气瓶接人管路,而液态源通常是放在源气瓶里.用载气携带进入路。载气携带液态源时对源的精确控温非常重要,它决定了被载气携带源的计量。近年来,为精确控制源的进气量,采用了直接对液态源加热汽化的装置。外延管路采用耐腐蚀的不锈钢或聚四氟乙烯管,必须密封性良好,不泄漏。流量计使用精密的质量流量计。