加热系统。有冷壁和热壁两种类型。常压反LD2981CU50TR应器都使用冷壁加热系统,用射频线圈或红外辐射加热器直接加热基座,基座必须是对加热器敏感的易感器,而反应器的器壁并未被加热。低压反应器可采用对反应器加热的电阻丝加热器,基座和反应器壁同时被加热,是热壁系统。电阻丝加热器相对于射频加热器价格低廉,使用费用低。加热系统中还有控温装置,应保证基座温度均匀,控温精确。当前外延控温精度多在±0.l℃。

   控制系统。通常采用计算机对设备的各个系统进行协调控制。

   有害物处理装置。外延用反应剂、掺杂剂及外延生成物气体多为有毒、易燃、易爆气体,不可将废气直接排放到大气中,必须经过处理后才能排放,一般使用雨淋处理装置等进行废气处理后再排放。 图⒊13 气相外延设各   另外,不同类型的外延设各还有各自特有的系统,如在低压气相外延设各中一定还有真空系统,主要包含机械泵、真空计等,用来控制反应器中的真空度。图313所示是气相外延设备照片。