外延片光致发光光谱及扫描成像系统
发布时间:2016/11/5 19:14:54 访问次数:873
外延片光致发光光谱及扫描成像系统
光致发光是指物体依赖外界光源的照射,从而获得能量,产生激发导致发光的现象。JANTX2N6770从本质上讲,光致发光是材料中的电子吸收光子的能量跃迁到较高能级的激发态,在跃迁回低能级时,以光辐射的方式释放能量。外延片PL谱扫描成像系统用于快速检测外延片的质量,通过逐点扫描能够将外延片的积分光强、主波长、峰值波长、半峰宽等参数以绘图的形式显示它们在外延片中的分布。从图5-17的光致发光扫描成像图可以很直观地通过不同的颜色看出外延片表面各个位置的发光强度等参数的误差。
外延片光致发光光谱及扫描成像系统
光致发光是指物体依赖外界光源的照射,从而获得能量,产生激发导致发光的现象。JANTX2N6770从本质上讲,光致发光是材料中的电子吸收光子的能量跃迁到较高能级的激发态,在跃迁回低能级时,以光辐射的方式释放能量。外延片PL谱扫描成像系统用于快速检测外延片的质量,通过逐点扫描能够将外延片的积分光强、主波长、峰值波长、半峰宽等参数以绘图的形式显示它们在外延片中的分布。从图5-17的光致发光扫描成像图可以很直观地通过不同的颜色看出外延片表面各个位置的发光强度等参数的误差。
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