根据对外延片合格产品的要求, JANTX2N2907A需要进行以下测试分析:

   ①表面反射率分析(PR:Photo RcⅡcctivity),测试外延片表面的粗糙度;

   ②光致发光分析(PL:PhotolumincsccllCe),光谱分析、峰值波长、波长均匀性、半峰宽;

   ③Ⅺ射线分析(X-Ray),晶格质量、组分分析、周期计算;

   ④Hall霍尔效应测试,主要测量电阻率、迁移率、载流子浓度、霍尔系数;

   ⑤电致发光测量(EL:ElectrolumillesccnCc),其分析参数包括亮度(mcd)、正向偏压(Vf)、波长(nm)、半峰宽、反向电流、波长漂移、反向电压、抗EsD能力等;

   ⑥显微镜测量,包括原子力显微镜、金相显微镜及扫描电镜进行表面形貌分析。

   表面反射率

   随着对外延片表面质量要求的不断提高,表面粗糙度已经成为合格外延片的必要条件。外延片表面粗糙度的测量利用光学原理,如图5-16所示。当一束光以…定的角度照射到固体表面后,除一部分光被固体吸收外,另一部分被反射和散射。反射光的强弱与被测表面的粗糙度有关,反射光的强弱通过反射光强度与入射光强度的比值即表面反射率(白分比)来表示。具有光滑表面的GaN外延片,共测量的表面反射率为17%,lFl粗糙的GaN表面反射率范围约在1%~10%。因此,依据测量的外延片表面反射率能够有效地判断

出其表面粗糙度。