(1)X射线双晶衍射

   X射线双晶衍射方法是研究JANTX2N6782外延捌料组分和晶体结构的重要实验方法,是研究超晶格及多量子阱结构性质的有序手段c

   (2)霍尔效应分析仪

   霍尔效应是指固体材料中的载流子在外加磁场中运动时,受到洛伦兹力的作用而使轨迹发生偏移,并在材料两侧产生电荷积累,形垂直于电流方向的电场,最终使载流子受到的洛伦兹力与电场斥力相平衡,在两侧建立起一个稳定的电势差。这个电势差称为霍尔电压。霍尔效应分析仪作为测定半导体材料电磁特性的仪器,可以得到材料的载流子浓度、迁移率、电阻率及霍尔系数等参数。

   (3)原子力显微镜(AFM)

   原子力显微镜是一种纳米级高分辨的扫描探针显微镜,利用原子之间的作用力探测出样品的三维表面图。AFM的关键部件是一端带有尖细探针的微观悬臂,用以扫描样品表面,感应原子间的作用力,如图5-18所示。激光束经过光学系统聚焦在微悬臂背面,并被反射到由光电二极管构成的检测器。当探针在距离样品表面l~3nm的位置扫描时,由于样品表面原子与探针原子之间的作用力,微悬臂将随样品表面形貌而弯曲起伏,反射光束也随之偏移。因此,通过光电二极管检测光斑位置的变化,就可获得样品表面形貌的信息。