这部分成奉来自于直接用于器件及晶圆制造的设备。在成本计算中以固定的一般管理费用或折旧的形式出现。HX1204折旧是机器由于磨损或变得过时而造成的价值损失。

   转到300 mm晶圆和现在450 mm晶圆已经遇到了设备成本的突然增加。在转变阶段，300 mm的工艺基本上与200 mm的工艺同。这意味着除了尺寸不同外工艺设备相同。然而，更大的晶圆一般要求更长的传输时间和更长的加工时间，导致生产率损失。这些损失等同于更多的设备以维持生产配额和更多的费用。图15.3比较了对于两种直径主要工艺设备的生产率。300 mm的新工艺对在线测量和监测的需求更大。更大直径带来的负面影响是如

果晶圆被错误加工或良品率较低，则损失更大。现在，300 mm工艺正在继续用铜金属化，它带着表面因素和新的低后介质材料进入图像。如果整个系统工作在工艺最终端，监测和控制工艺设备这些步骤的每一步都是至关重要的。关键尺寸测量和电子束缺陷检查系统已成为工艺内的要求，并增加到设备成本中。