我们已经提到过，EL1528CLZ-T13晶圆表面必须要干燥以增加它的黏附性。一个干燥的表面称做厌水性( hydrophobic)表面，它是一种化学条件。在厌水性表面上液体会形成小滴，例如水在刚刚打完蜡的汽车表面会形成很多小水珠？厌水性表面有益于光刻胶的黏结（见图8. 24）。晶圆在进行光刻蚀加工之前表面通常是厌水性的。．

   遗憾的是，当晶圆暴露于空气中的湿气或是清结束后的湿气时，表面会变成亲水性( hydrophilic在这种条件下液体会在晶圆表面形成较大的一滩水，就像是水在没有打蜡的汽车表面一样。亲表面同时也称为含水的表面。在含水的表面光刻胶不能很好地黏结（见图8. 24）。   

    有两个重要的方法可以保持厌水性表面，一种方法是把室内湿度保持在50%以下，并且在晶圆完成前一步工艺之后尽可能快地对晶圆进行涂胶。，另一种方法是把晶圆存储在用干燥并且干净的氮气净化过的干燥器中，或者存储在于燥的小环境中，例如前面开口标准匣( FOUP)（见第4章）。为了使晶圆表面达到可以接受的黏附性，需要加入一些附加的步骤。这些步骤包括：脱水烘焙和晶圆涂底胶。