位置:51电子网 » 技术资料 » 仪器仪表

淀积掺杂的硅层

发布时间:2015/11/6 19:34:30 访问次数:468

   如下这砦增加的层在器件AD7548TQ或电路的结构中起着各种不同的作用:

   ·淀积掺杂的硅层,称为外延层( epitaxial layer)(见本章的相关部分)

   ·金属问的绝缘介质层( IMD)

   ·垂直(沟槽)电容器

   ·金属间互连导电寨

   ·金属导体层

   ·最终的钝化层

   薄层的淀积主要采用两种方法:化学气相淀积( CVD)和物理气相淀积(PVD)。有关蒸发和溅射的金属化淀积技术将在第13章中给予描述。本章中提到的特殊薄膜的用途将在第16章和第17章中进行详细讲解。本章介绍化学气相淀积( CVD)在常压和低压技术中

的实际运用。


   如下这砦增加的层在器件AD7548TQ或电路的结构中起着各种不同的作用:

   ·淀积掺杂的硅层,称为外延层( epitaxial layer)(见本章的相关部分)

   ·金属问的绝缘介质层( IMD)

   ·垂直(沟槽)电容器

   ·金属间互连导电寨

   ·金属导体层

   ·最终的钝化层

   薄层的淀积主要采用两种方法:化学气相淀积( CVD)和物理气相淀积(PVD)。有关蒸发和溅射的金属化淀积技术将在第13章中给予描述。本章中提到的特殊薄膜的用途将在第16章和第17章中进行详细讲解。本章介绍化学气相淀积( CVD)在常压和低压技术中

的实际运用。


上一篇:薄膜淀积

上一篇:薄膜的参数

相关技术资料
11-6淀积掺杂的硅层

热门点击

 

推荐技术资料

驱动板的原理分析
    先来看看原理图。图8所示为底板及其驱动示意图,FM08... [详细]
版权所有:51dzw.COM
深圳服务热线:13692101218  13751165337
粤ICP备09112631号-6(miitbeian.gov.cn)
公网安备44030402000607
深圳市碧威特网络技术有限公司
付款方式


 复制成功!