淀积掺杂的硅层
发布时间:2015/11/6 19:34:30 访问次数:468
如下这砦增加的层在器件AD7548TQ或电路的结构中起着各种不同的作用:
·淀积掺杂的硅层,称为外延层( epitaxial layer)(见本章的相关部分)
·金属问的绝缘介质层( IMD)
·垂直(沟槽)电容器
·金属间互连导电寨
·金属导体层
·最终的钝化层
薄层的淀积主要采用两种方法:化学气相淀积( CVD)和物理气相淀积(PVD)。有关蒸发和溅射的金属化淀积技术将在第13章中给予描述。本章中提到的特殊薄膜的用途将在第16章和第17章中进行详细讲解。本章介绍化学气相淀积( CVD)在常压和低压技术中
的实际运用。
如下这砦增加的层在器件AD7548TQ或电路的结构中起着各种不同的作用:
·淀积掺杂的硅层,称为外延层( epitaxial layer)(见本章的相关部分)
·金属问的绝缘介质层( IMD)
·垂直(沟槽)电容器
·金属间互连导电寨
·金属导体层
·最终的钝化层
薄层的淀积主要采用两种方法:化学气相淀积( CVD)和物理气相淀积(PVD)。有关蒸发和溅射的金属化淀积技术将在第13章中给予描述。本章中提到的特殊薄膜的用途将在第16章和第17章中进行详细讲解。本章介绍化学气相淀积( CVD)在常压和低压技术中
的实际运用。
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