扩散的概念
发布时间:2015/11/4 22:24:04 访问次数:1416
扩散掺杂T艺的开发是半导体生产的一个重要进步。扩散是一种材料通过另一种材料的运动,ADS7881IPFBR是一种自然的化学过程,在日常生活中有很多例子。扩散的发生需要两个必要的条件。第一,一种材料的浓度必须高于另外一种材料的浓度。第二,系统内部必须有足够的能量使高浓度的材料进入或通过另一种材料。气相扩散的一个例子就是常见的充压喷雾罐(见图11.2),比如房间除臭剂。按下喷嘴时,带有压力的物质离开罐子进入到附近的空气中。此后,扩散过程使得气体移动分布到整个房间。这种移动在喷嘴被按开时开始,并且在喷嘴关闭后还会继续。只要前面的喷雾引入的浓度高于空气中的浓度,这种扩散过程就会一直继续。随着物质远离喷雾罐,物质的浓度会逐渐降低。这是扩散过程的一个特性。扩散会一直继续,直到整个房间的浓度均一为止。
一滴墨水滴入一杯水中时,展现的就是液态扩散的另一个例子。墨水的浓度高于周边水的浓度,于是立即向杯中的水扩散。,扩散过程会一直继续,直到整杯水有相同的颜色为止。这个例子还可以用来说明能量对扩散过程的影响。如果杯中的水被加热(给予水更多的能量),墨水会更快地散布在杯中。
当掺杂的晶圆暴露接触面比晶圆内杂质原子浓度更高时,会发生相同的扩散现象。这被称为固态( solid-state)扩散。这些规则支配丁一种掺杂物每次穿过主晶圆的运动,晶圆穿过一个温度高到足以引起杂质运动的高温过程,例如在离子注入后的退火】:艺过程。或者,杂质一进入品圆,就将保持运动。必须考虑这些动和制造工艺的设计规则经常要被杂质的总的热预算( total thermal budget)来表征。
扩散掺杂T艺的开发是半导体生产的一个重要进步。扩散是一种材料通过另一种材料的运动,ADS7881IPFBR是一种自然的化学过程,在日常生活中有很多例子。扩散的发生需要两个必要的条件。第一,一种材料的浓度必须高于另外一种材料的浓度。第二,系统内部必须有足够的能量使高浓度的材料进入或通过另一种材料。气相扩散的一个例子就是常见的充压喷雾罐(见图11.2),比如房间除臭剂。按下喷嘴时,带有压力的物质离开罐子进入到附近的空气中。此后,扩散过程使得气体移动分布到整个房间。这种移动在喷嘴被按开时开始,并且在喷嘴关闭后还会继续。只要前面的喷雾引入的浓度高于空气中的浓度,这种扩散过程就会一直继续。随着物质远离喷雾罐,物质的浓度会逐渐降低。这是扩散过程的一个特性。扩散会一直继续,直到整个房间的浓度均一为止。
一滴墨水滴入一杯水中时,展现的就是液态扩散的另一个例子。墨水的浓度高于周边水的浓度,于是立即向杯中的水扩散。,扩散过程会一直继续,直到整杯水有相同的颜色为止。这个例子还可以用来说明能量对扩散过程的影响。如果杯中的水被加热(给予水更多的能量),墨水会更快地散布在杯中。
当掺杂的晶圆暴露接触面比晶圆内杂质原子浓度更高时,会发生相同的扩散现象。这被称为固态( solid-state)扩散。这些规则支配丁一种掺杂物每次穿过主晶圆的运动,晶圆穿过一个温度高到足以引起杂质运动的高温过程,例如在离子注入后的退火】:艺过程。或者,杂质一进入品圆,就将保持运动。必须考虑这些动和制造工艺的设计规则经常要被杂质的总的热预算( total thermal budget)来表征。
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