水在氧化反应时是以水蒸气的形态存在的，这种工艺称为蒸气氧化( steam  oxidation)、湿K4M51323PC-DG90氧化( wet oxidation)或高温蒸气氧化(pyrogenic steam)。湿氧化一词来源于那个时代，当时气态水来源于液态水。只有氧参与的氧化称为干氧化。如果只用氧气一定是干的（无水蒸气的），而其他类型的生长氧化物可能用水蒸气，并要求额外的工艺。

   请注意，当水蒸气与硅反应时，方程的右边有两个氢分子(2H2)。初始时，这些氢分子被陷在二氧化硅层中，使其密度低于干氧生成的二氧化硅层。可是在惰性气体中进行氧化加热后，如在氮气中（见7.4节），这两种氧化在结构和性能上就非常相似了。

   图7. 11二氧化硅厚度与时间、温度之间的关系图。，(a)干氧化；(b)水蒸气

   图7. 12硅和水蒸气反应形成二氧化硅和氢气