固态传感器包含多种过渡金属的金属氧化物，如氧化锡、氧化铝等。这些金属氧化物被制成浆状物，AD7191BRUZ用于制作珠型传感器，或者把金属氧化物真空沉积到硅芯片表面上，制作成厚膜或薄芯片传感器，其方法与制作半导体相类似[15]。

   由于传感器成品在不同温度范围内显示出不同的气体反应特性，因此传感器采用加热元件来调节温度，这种加热元件常采用铂丝、铂合金丝电阻或金属氧化物等。然后在规定高温下对传感器进行处理，这种高温可以确定传感器成品的具体特性。有氕体出现时，金属氧化物使气体分解为带电离子或导致电子转移的复合物[16]。内置的加热器会将金属材料加热到最适合于待检测气体的工作温度范围内，加热器由专用电路进行调节和控制。金属氧化物中置有一对偏压电极，用于测量其传导性变化。由于与气体分子的相互反应，导致传感器传导性发生变化，其变化以信号形式进行测量。制作固态传感器的方法各种各样，每种方法产生的传感器性能特性各不相同。图14和图1-5所示为两种典型的传感器类型。