20世纪60年代初激光的出现， AQW215AZ特别是氦一氖激光器的出现，使干涉技术得到迅速发展，激光干涉测量系统应用非常广泛：精密长度、角度的测量如线纹尺、光栅、量块、精密丝杠的检测；精密仪器中的定位监测系统如精密机械的控制、校正；大规模集成电路专用设备和检测仪器中的定位检测系统、微小尺寸的测量等。

   用激光作光源的干涉仪具有测量速度高、测量范围大等优点，在精密仪器中广泛用于定位检测系统。激光干涉定位系统在精密仪器中是测量的基准，因此仪器定位精度的高低，很大程度上取决于这个基准的精确程度。一套性能良好的激光干涉定位系统应满足下列要求。

   满足仪器的精度要求。激光干涉定位系统一般是用高精度的仪器作为定位检测系统，根据仪器昀设计原则，定位检测系统的精度应占仪器总精度的1/3~1/10，根据仪器的精度来确定干涉系统本身的精度，例如仪器总精度为1斗m，干涉定位系统的精度应小于±0. lym，与之相应，干涉系统的分辨率应<0.1斗m。在干涉系统设计时，为满足精度要求，应考虑结构选型，在布置结构时应尽量满足阿贝原则及结构的变形最小的原则，同时还应采取必要的措施如稳频等保证在外界环境变化时，对干涉仪的精度影响较小，此外根据仪器精度的高低，对环境提出必要的要求。