激光干涉测长系统的光路设计
发布时间:2015/5/12 20:21:24 访问次数:727
一种实际应用的激光干涉测长仪的简化光路如图7-3所示。
图7-3 -神激光干涉测长仪的简化光路1-激光器;2,4,11,14-透镜;3,12,15 -光阑;5-反射镜;6-反射棱镜 7-相位板;8,10-角锥反射棱镜;9-分束镜;13,16-光电检测器。
由激光器1发出的光,AD516JH经由(透镜)2、4和(小孔光阑)3部分组成的准直光学系统,使激光束的截面扩大,并压缩光束的发散角。从准直光学系统出来的光经反射镜5的光路转折到分束镜9分为两部分,一部分射向角锥反射棱镜10形成参考光束,另一部分射向角锥反射棱镜8形成测量光束,其中角锥反射棱镜10固定不动,作为干涉仪的参考臂,而角锥反射棱镜8则作为干涉仪的测量臂,随着被测对象移动。经参考臂上的角锥射棱镜10反射的参考光束与经测量臂上角锥反射棱镜8反射的测量光束再经分束镜9合成为两路干涉信号,一路由透镜11聚焦和光阑12滤除杂散光后,由光电检测器13接收;另一路则经反射棱镜6反射后经透镜14和光阑15,最后由光电检测器16接收。
一种实际应用的激光干涉测长仪的简化光路如图7-3所示。
图7-3 -神激光干涉测长仪的简化光路1-激光器;2,4,11,14-透镜;3,12,15 -光阑;5-反射镜;6-反射棱镜 7-相位板;8,10-角锥反射棱镜;9-分束镜;13,16-光电检测器。
由激光器1发出的光,AD516JH经由(透镜)2、4和(小孔光阑)3部分组成的准直光学系统,使激光束的截面扩大,并压缩光束的发散角。从准直光学系统出来的光经反射镜5的光路转折到分束镜9分为两部分,一部分射向角锥反射棱镜10形成参考光束,另一部分射向角锥反射棱镜8形成测量光束,其中角锥反射棱镜10固定不动,作为干涉仪的参考臂,而角锥反射棱镜8则作为干涉仪的测量臂,随着被测对象移动。经参考臂上的角锥射棱镜10反射的参考光束与经测量臂上角锥反射棱镜8反射的测量光束再经分束镜9合成为两路干涉信号,一路由透镜11聚焦和光阑12滤除杂散光后,由光电检测器13接收;另一路则经反射棱镜6反射后经透镜14和光阑15,最后由光电检测器16接收。
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