激光干涉测长系统组成

   图7-2所示为激光干涉测长的基本原理框图，它是以激光的波长为基准对各种长度量进行精密测量，AD515JH主要有以下几部分组成。

   (1)激光光源。一般采用单模稳频氦一氖气体激光器，使用输出波长为A=0.6328}im的红光。这种激光器相干长度可达到300km。

   (2)干涉仪。是基于迈克尔逊干涉的原理，被测长度位移量通过干涉仪的移动臂引入，对光波的相位进行调制，再白干涉仪中两臂光波的干涉实现对位移量的解调。

   (3)光电显微镜。用于给出被测长度量的起始和结束位置，实现对被测长度或位移的精密瞄准，使干涉仪的干涉信号处理部分和被测量之间实现同步。

   (4)干涉信号接收和处理部分。主要包括接收干涉信号的光电检测器、信号放大、判向、细分以及可逆计数和显示记录等。