反射衍射法是利用试件棱缘和反射镜构成的狭缝实现衍射测量。图7 -23所示为反射衍射法的原理图，狭缝由棱缘A与反射镜组成。 IRF1018EPBF反射镜的作用是用来形成A的像A 7。这时，相当于光柬以i角入射，缝宽为26的单缝衍射。显然，若在P处出现第尼级暗纹，则光程差满足下列条件：

   激光对平面反射镜的入射角；p为光线的衍射角；6为试件边缘A和反射镜之间的距离；2bsin/为光线射到边缘前，在A与A’处的光程差，2bsin(/ -∞是A与Ar处，两条衍射光线在衍射角为口的P点的光程差，此时应为负值。

   将上式展开进行三角运算得到

   2b(cos/sin0+2sin/ sin2导=从    (7-12)

   (1)由于反射效应，测量6的灵敏度可以提高一倍；

    (2)i角一般是任意的，测得某一入射角i位置的两个Xk值代入上式，解出6值。

   反射衍射技术主要应用在表面质量评价、直线性测定、间隙测定等方面。

   图7 -24所示为反射衍射法测量的实例，图7- 24(a)是利用标准的刃边评价工件的表面质量；图7 - 24(b)是利用反射衍射的方法测定计算机磁盘系统的间隙；图7-24(c)是利用标准的反射镜面（如水银面、液面等）测定工件的直线性偏差。

   从以上实例可见，利用反射衍射法进行测量易于实现检测自动化，对生产线上的零件自动检测有重要的实用价值，其检测灵敏度可达2.5一0. 025 Um。