在半导体、光学、精微机NAND512W3A2CN6E械等工业中日益要求有超高分辨率的表面轮廓测量仪器，以解决超精细表面的质量检测问题，特别是对大功率激光器、先进的X光设备、航天制导系统中的一些关键器件的无接触检测。

   尽管干涉式轮廓仪问世已久，但由于抗振动干扰性能一般都比机械触针式轮廓仪差，因此其分辨率较低而不能充分发挥干涉测量的优势。针对这一问题，20世纪80年代开始出现激光差动干涉仪，然后又研制出同轴式干涉轮廓仪，以适应精微产品的测试。目前国际上能达到亚纳米级灵敏度的同轴式干涉轮廓仪虽已有成功的研究成果，但它们有的仅适用于测量粗糙度，对于具有特定形貌的精细表面不能正确测量；有的只在特定条件下才能测出真实形貌。下面介绍一种同轴式高分辨率激光轮廓仪，它在研制成功差动干涉仪的基础上，发展成新的同轴式轮廓仪．成功地克服了形貌测不准的难题。

    为同轴式干涉轮廓仪的光路原理图。激光器1发出的已稳频的双纵模激光是偏振面相互垂直的线偏振光，分光器2将光束分为参考光束和干涉光束，其中参考光束通过与偏振方向成45。角放置的偏振片P45。以后，会聚到雪崩管3并转化为电信号，作为参考信号。干涉光束由平面镜5反射，再由方解石晶体6分为两束光，其中O光通过方解石晶体的中轴线聚焦于物镜9的后焦面.