国家标准对表面粗糙度测量的要求是实现三维测量，而光散射原理正好与之吻合，它NAND512W3A2CN6可实现表面的面积采样，同时所形成的散射光带光能分布和表面微观形貌高度变化有较清晰的对应关系。利用光散射法测量表面粗糙度可满足快速动态、高精度、无损检测及抗干扰性能强的要求。还有不少学者提出以其作为表面粗糙度基本仪器来改变基于传统触针式仪器的形状，从而推动新原理、新仪器的发展，满足生产实际的需要。基于这种原理，人们提出了一种激光散射法在线检测表面粗糙度的方法。

   激光散射法在线检测表面粗糙度的光学原理图，半导体激光器1输出光功率为3 mW、波长为780 nm的光束，该激光束通过偏振片3成为线偏振光，偏搌方向平行于纸面，分光镜11将光束一分为二，其中反射光占大部分。经分光镜11反射的一束光为测量光束，该光束经平面镜4反射，调整分光镜11和平面镜4的角度，使该光束经平面镜4反射后，最后由图11.10所示的位置入射到测量透镜6(厂=40 mm，D=30 mm)上，经测量透镜6会聚后，到达工件表面，经工件表面散射后，形成与工件表面加工纹理方向垂直的散射带。

    经分光镜11透射的另一束光为对准光束，该光束经分光镜11透射后的位置入射到测量透镜6上，经测量透镜6会聚后，到达工件表面，被工件表面散射，形成另一个与工件表面加工纹理方向垂直的散射带。这样，由测量光束形成的散射带和由对准光束形成的散射带相互平行，但是位于透镜光轴的两侧，这两条散射带是不会互相干扰的。测量光束形成的散射带通过测量透镜后成为平行光束，然后经由反射镜8反射到光电二极管接收阵列9上转换为电信号输出。对准光束形成的散射带经过孔径光阑5和反射镜10后也被光电二极管接收阵列接收并转换为电信号输出。由于这两条散射带在空间上相互平行，并且还有一定的距离，再加上孔径光阑5的作用，这两条散射带不会在光电二极管接收阵列9上相互重叠。另外，垂直入射的对准光束与光轴有一个偏心距，此外还有孔径光阑的作用，因此光路申基本上没有回光。