1.初测

   在工作电压下测量样品的泄漏电流,NT407F泄漏电流大于11IA的样品,不用于下一步的试验过程。

   2.温度和恒定电压应力

   试验的温度应力选择在85~150℃之间,电压应力选择在8~13MV/cm之间。

   3.失效判据

   存在下面任何一种情况时认为样品发生了失效:氧化层电流急剧增大至1mA:发生不可恢复的击穿失效;相邻两个测量点的电流变化)20%。

   4.加应力

   在应力温度达到后施加电压应力,测氧化层电流。当发生氧化层失效,记录时间,停止试验,否则计算出累计该步的击穿电荷么d。

重复上述步骤,直到电流超过了限定的值。

   5,试验后测试

   对于在试验中发生失效的样品,用工作电压进行测量,如果测量电流大于1ItA,则认为发生致命失效,否则认为是非致命失效。

   6.中位寿命提取

   将每只样品得到的击穿时间描绘在对数正态概率纸上,给出栅氧化层TDDB累积失效概率分布,从而得到不同电场应力下的中位寿命。