1.栅极应力电压选择

   选定漏极应力电压,需确定NDP7061最坏的栅极应力电压,该电压可能出现在最大衬底电流附近,或者是/Gs=‰s,%s〓‰s/2处。最坏栅极应力电压会导致器件最大静 态退化,但这与工艺条件有关。压变化的特性曲线。

   2.初始测试

   在进行应力周期测试前,必须选择合格的器件,使其栅极电流、漏极电流、源极电流在所需的极限范围内。对于合格的器件,则可以施加加速应力。偏置条件通过最初的初始测试确定。

    应力电压施加顺序:(1)/:s(衬源电压);(2)吒:(额定衬底电压);(3)/Gs(栅源电压);(4)‰s(漏源电压)

   3.应力测量

   在每个应力周期结束后,测试器件的特性参数。获得所选器件的所有参数的初始值,包括g“ma。(最大线性区跨导)、几⒌⑾(饱和区漏极电流)、K“c刈(外推阈值电压)或K×ω)(恒定电流阈值电压)。这些数据需要用来确定器件参数在受应力作用后的变化值。