对于斜坡上升速率为0.5MV/(cm・s)时的测量数据,击穿电流设置在100mA/cm2,即1zOILA时,BP3105斜坡步进时间是0,056s,斜坡步进电压是0.05V,栅氧化层的厚度是17。snm,斜坡步进电场为28600V/cm,于是计算出5V恒定工作电压 下的寿命时间如表7.6所示。

   表76 亚微米CM0s工艺斜坡击穿电压与寿命时间

   斜坡电压测试时,使MOs电容处于积累状态,在栅极上的电压从使用电压开始扫描,一直到氧化层击穿为止,击穿点的电压即击穿电压(吒D),同时还可以得到击穿电荷(幺D)。按照JEDEC标准,用斜坡电压法时,总的测试结构的氧化膜面积要达到一定的要求(比如大于10cm2等)。做完所有样品的测试后,对得到的击穿电压进行分类:

   (1)击穿电压(使用电压:早期失效;

   (2)使用电压(击穿电压(昭×使用电压:可靠性失效(仞为一系数,一般为2);

   (3)击穿电压)聊×使用电压:本征失效。

   缺陷密度D的计算方法如下:

   D=(早期失效数+可靠性失效数)/总的测试面积。如果D小于目标值,则通过;如果D大于目标值,则没有通过。目标值根据具体工艺确定。此外,得到的击穿电量也可以作为判定失效类型的标准,一般当么D(0.1C/cm2就认为一个失效点。但是当工艺在0.18um以下时,鱿D一般只是作为一个参考,并不作为判定标准,因为鱿D和很多测试因素有关。