声表面波器件生产环境的控制要求
发布时间:2012/5/7 19:57:27 访问次数:748
为保证声表面波器仲的可靠性，对声表面MICRF102YM波器件生产环境条件应提出明确的控制要求，包括净化厂房的洁净度、温湿度、防静电设施，同时制订相应的控制文件，并在实际中按要求严格控制。
洁净度、温湿度的控制
器件生产所需净化厂房的洁净度、温湿度控制要求，各工序有所区别，光刻、镀膜等工序要求更高；同时与器件IDT指条宽度有关，器件IDT指条宽度越窄，工序要求相应更高。声表面波器件生产净化厂房各工序的洁净度、温湿度控制要求见表9.7。
为保证声表面波器仲的可靠性，对声表面MICRF102YM波器件生产环境条件应提出明确的控制要求，包括净化厂房的洁净度、温湿度、防静电设施，同时制订相应的控制文件，并在实际中按要求严格控制。
洁净度、温湿度的控制
器件生产所需净化厂房的洁净度、温湿度控制要求，各工序有所区别，光刻、镀膜等工序要求更高；同时与器件IDT指条宽度有关，器件IDT指条宽度越窄，工序要求相应更高。声表面波器件生产净化厂房各工序的洁净度、温湿度控制要求见表9.7。
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