试验仪器

   图⒋40所示为一台通用的采用正比例计数法的X射线荧光测厚  仪。 M0516LBN

   (l)可测量电镀、蒸镀、离子镀等各种金属镀层的厚度,适合较薄金属镀层测量。

   (2)可通过CCD摄像机来观察及选择任意的微小面积,以进行微小面积镀层厚度的测量,避免直接接触或破坏被测物。

   (3)薄膜厚度测量软件是标准配置,可同时对多层镀层及合金镀层厚度和成分进行测量,实际应用中发现最外层测量值最可靠。

   (4)测量元素范围:金属元素。

   (5)最外层测量误差约为5%,第二层测量误差约为10%。

   仪器校准

   在测量试样时,为绘制标准曲线所采用的全部测量参数,包括测量孔径、管电压、测量时间等均不得变更。任何型号的X射线光谱仪都要使用标准样品,各种不同种类的标准样品是测量的根使用标准样品时,应尽可能减少涂覆层磨损,若标准样品有明显的划痕或磨损,必 仪器要用标准样品进行校准,标准样品的涂覆层/基体组合及厚度范围应与待测试样 标准样品与待测试样涂覆层的X射线发射(吸收)性能应相同。如果试样曲率的影响不能消除,待测试样与标准样品的曲率应当相同。