传感器已经成为当今世界不可或缺的一部分。现代汽车中已经采用了数十种传感器.其应用范围从简单的位置传感器到多轴MEMs加速度计和陀螺仪。这些传感器在增强了汽车发动机的性能以及稳定性的同时,也保证了汽车发动机符合环保标准,并且提升了汽车乘用者的舒适度与安全性。另外一个例子,现代家庭中也使用了多种传感器,其范围包括简单的温度控制器到红外运动传感器以及热式流量传感器。而最能体现传感器普遍性的例子或许就是移动电话了,其已经从单一的通信设备逐步发展成为名副其实的传感器应用平台。一部典型的手机包含了多种传感器,如触摸传感器、送话器、一个或两个图像传感器、惯性传感器、磁性传感器和可以感知环境温度、压力甚至湿度的传感器。这些传感器连同GPS(Globd Positioni吧助stem,全球定位系统)定位接收器一起,一方面使得移动电话的操作更简易,同时也大大拓展了移动电话的功能用途,使其所扮演的角色已远远超过最初的手提电话功能。

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   如今,手机中大部分传感器与大多数用于普通消费类电子产品中的传感器一样,都是由硅材料制造的c这主要是因为硅基传感器可以利用大型半导体代工厂进行低成本的大规模量产。另一个使用硅基的原因是容易实现为传感器提供偏置或处理传感器输出信号的电路系统与传感器的单片集成或者至少同一封装集成。此外,半导体级硅是一种高纯度的材料,具有特定的物理性质,有些可以通过掺杂来调控性能,还有些可以实现纳米尺度的微细加工。