目前,可用于集束型装备建模方法可分为基于马尔科夫模型、数学规划模型、KC333/256SL6JE时序图模型、Pctri网模型及仿真模型等。其中,大部分方法具备准确描述系统组织和生产过程的能力,但由于数学方程的复杂度和可求解性等原因,己经很难为具备多种类型晶圆混合加工的集束型装备进行建模;而Pctri网模型,由于其清晰的图形化界面和较完善的数学分析工具,已逐渐成为集束型装备建模和性能分析研究的有力工具。

   日前,一般的Pctri网在对集束型装备建模时,其模型庞大而复杂,且对所描述系统的依赖性较强,因此模型的可重用性、可重构性和易维护性较差。可引用颜色、时间和面向资源等概念进行简化,进而建立独立于晶圆流模式的通用模型。仿真方法依赖于具体集束型装备的物理结构配置,而且算法建立过程复杂、对实际问题来说求解时间太长。