正向模型的精确度有赖于大量的试验以及分析

发布时间:2017/11/1 19:30:41 访问次数:345

尽管逆光刻有很多优点,我们也看到,它也有一定的局限性:

(1)它的作用发挥有赖于精确的正向模型。 O19.66080MHZ-JCO-8-3-B

(2)正向模型的精确度有赖于大量的试验以及分析,模型的精确度极限,或者在什么地方变得不精确,并不是一目了然的,需要不停地发掘、验证和修订。

(3)由逆光刻生成的掩膜版图形可能很复杂,如图7,102所示。以至于掩膜版制造和检测发生困难。不过最近的发展使得简化逐渐成为

现实。

尽管逆光刻有很多优点,我们也看到,它也有一定的局限性:

(1)它的作用发挥有赖于精确的正向模型。 O19.66080MHZ-JCO-8-3-B

(2)正向模型的精确度有赖于大量的试验以及分析,模型的精确度极限,或者在什么地方变得不精确,并不是一目了然的,需要不停地发掘、验证和修订。

(3)由逆光刻生成的掩膜版图形可能很复杂,如图7,102所示。以至于掩膜版制造和检测发生困难。不过最近的发展使得简化逐渐成为

现实。