测量仪器可采用“SZ82型四探针测试仪”,硅片厚度测量用“千分表”。

   SZ82型四探针测试仪原理方框图如图肛3所示。仪器电源经DGDC变换器,由恒流源TA4017FT电路产生一个高稳定恒定直流电流,其量程分别为10uA、100uA、1mA、10mA、100mA,数值连续可调,输送到1、4探针上,在样品上产生一个电位差。此直流信号经由2、3探针输送到电器箱内。具有高灵敏度、高输人阻抗的直流放大器将直流信号放大(放大量程有0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V)。

   测量步骤

   请按仪器使用说明书进行测量,在此简介如下。

   测试准备。打开电源,仪器通电预热约半小时。将被测样品放测量台上,旋下探针,使其与样品表面接触良好,并保持一定压力。