超晶格(或多量子阱)结构是在沿垂直于衬底表面上外延生长的周期性结构。一个周BAT54SW期的超晶格结构由阱和垒两层组成的,分别以a、b表示。例如,阱和垒都有自己的厚度鬼和丸,应变(与组分有关)为εa和εb,结构因子为凡和Fb,当然也有相应的与外延膜和X射线反射相关的这里'e为经典电子半径;兄为波长;口为晶胞体积;免为衬底的Bragg衍射角;角变化。若超晶格的周期数为M,在忽略吸收的情况下,其X射线衍射的振幅￡M可用下面的公式表中最后一个分数为超晶格的干涉函数。现在来讨论超晶格卫星峰和厚度干涉条纹的形成卩刨。

    当(/a圪ubyb)刁π时,EM为最大值,出现一系列的衍射峰,该衍射峰称为超晶格的卫星峰。对于理想的共格生长超晶格,卫星峰的全宽度和周期数〃成倒易关系,全宽正比于γM。当超晶格出现弛豫、界面粗糙度和周期重复性欠佳时,卫星峰会加宽。超晶格的衍射遵守Bragg方程这里D=ra+兔为超晶格的周期值;L为卫星峰的级数;第L级的Bragg角为G。由于周期值D一般来说都大于a层和b层的晶格常数,因此其低级卫星峰的衍射角G很小,很可能出现在临界全反射角附近,将受到折射的影响。而高级衍射出现在衬底的Bragg衍射附近。